VQM 835 Granvillle-Phillips® MD Le système de pompe différentielle Granvillle-Phillips® 835 VQMMD comprendra la pompe turbomoléculaire EXT d’Edwards

Edwards Group Limited (NASDAQ: EVAC), fabricant de premier plan de produits complexes de technologie du vide, de systèmes de traitement de rejets gazeux et fournisseur mondial de services, doit fournir la pompe turbo moléculaire EXT75DX à Granville-Phillips® , partie intégrante de son système « Vacuum Quality Monitor (VQM™) 835 » Le système de pompe différentielle (SPD) VQM 835 fournit de l’information en temps réel qui peut être utilisée pour optimiser le dépôt physique en phase vapeur, l’implantation d'ions, la gravure par ions réactifs et tout processus dépendant du vide, particulièrement la fabrication d’équipement solaire et de semi-conducteurs, et aussi pour la surveillance et le diagnostic d’un système de vide dans une vaste gamme d’autres processus de vide, de revêtement en couches minces, la recherche, la physique des hautes énergies ou d’autres applications où une compréhension précise de l’environnement sous vide est essentielle.

(Photo: Business Wire) Granville-Phillips' 835 VQM Differential Pump System including EXT turbomolecular pump from Edwards

Edwards a collaboré avec Granville-Phillips, qui fait partie de Brooks Automation Inc., sur le SPD VQM835, un outil de diagnostic utilisé pour surveiller la qualité de l’environnement sous vide dans divers systèmes. Une différence de pression entre la chambre à vide et la jauge VQM est obtenue en limitant la conductance du senseur par l’utilisation d’un orifice dans le système de vanne d’entrée et en pompant le senseur avec une turbopompe. Ceci permet au SPD VQM de surveiller la qualité du vide d’un système à des pressions entre 3 Torr et 5x10-9 Torr.

Les raisons clés pour lesquelles Granville-Phillips a sélectionné la turbopompe EXT75DX d’Edwards étaient l’absence de contaminants à vide très poussés, les faibles vibrations engendrées par la pompe, sa tolérance à haute pression au refoulement, sa faible consommation d’énergie et sa compacité.

Ce qui a été crucial dans le processus de prise de décision de Granville-Phillips, c’est qu’Edwards était en mesure de fournir un produit qui soit résistant et fiable, conformément à son programme GUTS® (Guaranteed Up Time Support), afin d’assurer une performance fiable pour ses clients utilisant le système.

David Steele, Responsable Marketing du segment de Marché chez Edwards, a commenté : « La conception innovante du VQM le place à part dans les outils conventionnels d’analyse de gaz. Edwards s’engage à fournir le système de vide de haute qualité à Granville-Phillips avec les bonnes performances au bon prix. »

Pour de plus amples renseignements sur les produits Edwards, veuillez visiter www.edwardsvacuum.com.

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Edwards Group LimitedRebecca Walder+44 (0) 1293 603103Rebecca.Walder@edwardsvacuum.com

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